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无尘车间防静电方法
2019-08-22
行业新闻
无尘车间防静电方法
无尘车间防静电是必要的办法,由于静电会吸附的粉尘、污物造成元器件毁坏,电击人体等损害,现在来说说无尘洁净室的静电操控办法。
1、无尘洁净室静电操控的基本原则
(1) 确定静电操控等级
(2)尽量削减静电荷的发生
(3) 泄放和中和的办法加速静电荷散失,避免静电积累
(4)保护产品不受ESD的损坏
2、确定无尘洁净室静电操控的等级
(1)元器件、组件和设备静电灵敏度分级
1级:易遭受0-1999V静电电压损坏的
2级:易遭受2000-3999V静电电压损坏的
3级:易遭受4000-5999V静电电压损坏的
而灵敏静电压大于16000V的,便不必采纳防静电办法。
(2)静电防护工作区的分级
A级:允许对地静电电位不超越±100V
B级:允许对地静电电位不超越±1000V
实践无尘室工程中是分静电电位不超越100V、500V、1000V等对应元器件、组件和设备静电灵敏电压的3级。
3、尽量减小静电荷的发生
这是操控静电三步曲的第一步,在这净化工作环境中,最好的办法:
(1)尽量选用性质类似器件,削减在接触冲突分离过程中发生静电电荷;
(2)尽量选用导静电型或静电耗散型资料的器件,削减接触冲突分离过程发生积累静电荷;
(3)尽量选用削减接触冲突分离而发生静电荷的生产流程。
4、泄放和中和
这是操控静电三步曲的第二步,在微电子生产的净化室中最通常的办法是接地,选用导电性或耗散性资料泄放静电荷,以及离子化消电器中和静电荷。
5、避免ESD,保护产品
这是操控静电的三步曲中最终一步。在微电子生产的净化室中,为阻挠ESD发生在静电灵敏元器件或组件、PCB上。一种办法是对元器件和组件提供合适的接地或分路以“散失”掉产品上存在的静电荷;另一种办法是用恰当的包装办法和资料来处理静电灵敏器件的包装和输运。这些资料可有效地屏蔽电荷侵入产品以及削减产品在包装箱中移动而发生静电荷。
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