1.无尘洁净室洁净度

洁净度是无尘室的最l重要最l基本的技术指标，其单位是：单位体积的空气中粒径不小于某一尺寸的微粒个数。微电子行业对于洁净度的要求最l高，其次是光电子行业。

 

2.无尘洁净室微生物浓度

微生物浓度时无尘洁净室的另一项重要技术指标，其单位是：单位体积的空气中微生物的个数。生物工程行业对洁净室于微生物浓度的要求最l高，其次是医l疗、制药、食品、饮料、化妆品等行业。微生物的种类繁多，有病毒、细菌、真菌、藻类、孢子、花粉、螨虫等，空气中的微生物是空气中微粒的一部分，确切的说是危害较大的一部分。通常测定的是空气中细菌的浓度。

 

3.无尘洁净室温度

温度时基本的工作条件，几乎所有的无尘室对于温度都有明确的要求，工厂无尘车间设计，温度会影响物体的尺寸，从而影响加工的精l确度，所以精密加工对于温度有相当严格的要求，温度会影响仪器的参数，从而产生误差，所以精密测量仪器对于温度的要求也较高。

 

4.无尘洁净室湿度

湿度也是基本的工作条件，几乎所有的无尘洁净室对于湿度都有明确的要求，湿度较大会使许多物质发生化学反应，从而影响产品质量，甚至使设备失效，产品报废。湿度过低又会使许多物质脱水变形，失去原有功能。

 

5.无尘洁净室风速与风量

足够的风速和风量是洁净度的保证，过大的风速与风量不仅浪费能量，而且有时会影响正常的工作。

 

6.无尘洁净室气压与压差

正常的气压式正常工作的基本条件。必要的压差是控制漏气方向的手段。微电子行业的无尘室为了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄露。病毒实验室或传l染病房不允许室内空气向室外泄露。