虽然对净化车间内的洁净度的丈量，能够选用净化工程光散射粒子计数器、凝结核粒子计数器、电子显微镜和光学显微镜，但现在用得最多的为光散射粒子计数器。由于此种粒子计数器在运用中能够对室内空气的含尘量进行自动、连续、及时地对应丈量，并且能够直接显示瞬时的含尘浓度，也能够对不同粒径的含尘浓度进行丈量，运用简略、方便、及时、灵活。计数器大体上可分这两种类型：大连净化室净化一种是照射系统光轴与检测系统光轴交叉安置的侧向散射型;另一种是两光轴安置在同一直线上的前向散射型。

     净化车间洁净度检测时，运用光散射粒子计数器的取样量：关于尘土粒子计数器检测时的空气取样量，在国标GBJ73-84中规则：关于100级的净化车间，每次取样量应大于或等于1L，关于1000~10000级的净化车间，每次取样量应大于或等于0.3L，关于10000级的净化车间，每次取样量应大于或等于0.1L。关于100级净化车间，宜选用大流量粒子计数器进行测验。假如不具备，也应选用每次采样量不小于1L的粒子计数器。在对净化车间进行洁净度检测时，虽然规则了空气的最小采样量，但在实践作业中，咱们应在确保最小采样量条件条件下，依据已有的检测设备，尽量选用大流量的尘土粒子计数器。

　　洁净室净化工程检测点的安置：依据中华人民共和国国家标准GBJ73-84《洁净厂房设计规范》的规则：在对净化车间进行洁净度检测时，检测点应为距室内地坪1.00m的水平面内;关于单向流型净化车间测点总数应不小于20点，测点间距为0.5-2.0m。水平单向流测点仅安置在第一净化车间作业区内;非单向流净化车间按净化车间面积小于或等于50m2安置5个测点。
关于洁净室等动力采样的问题：所谓等动力采样就是在检测时，粒子的计数器的采样管的入口方向与被采样的单向气流方向相一致，并且空气进入取样管入口的平均速度与该方位单向气流的平均速度相同。由于对净化工程的检测咱们首要关心两种粒径，即0.5um和5um。非等动力采样关于≤0.5um的粒子影响不大。假如取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度，假如这些粒子不受非等动力条件的影响，则计算结果也不受影响。因而，净化车间区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有含义。